一種半導(dǎo)體制造設(shè)備和工藝的智能控制系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610835520.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106483942B 公開(kāi)（公告）日 2019-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN106483942B 申請(qǐng)公布日 2019-06-04
分類號(hào) G05B19/418（2006.01）I; G06K9/62（2006.01）I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 孫敬璽 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳匠韻智能有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 孫敬璽;深圳匠韻智能有限公司
地址 516083 廣東省惠州市大亞灣西區(qū)科技創(chuàng)新園科技路1號(hào)創(chuàng)新大廈裙樓1棟1層804號(hào)房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體制造設(shè)備和工藝的智能控制系統(tǒng)及方法，其中智能控制系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)聚類處理單元、數(shù)據(jù)分類處理單元、數(shù)據(jù)標(biāo)注單元、支持向量機(jī)訓(xùn)練及測(cè)試驗(yàn)證單元、智能監(jiān)控單元、持續(xù)學(xué)習(xí)單元；數(shù)據(jù)聚類處理單元通過(guò)K?均值聚類算法對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)處理,并執(zhí)行離群判斷算法得到離群點(diǎn)候選集；數(shù)據(jù)分類處理單元通過(guò)局部離群因子法對(duì)所述離群點(diǎn)候選集進(jìn)行數(shù)據(jù)分類處理得到樣本數(shù)據(jù)集；支持向量機(jī)訓(xùn)練及測(cè)試驗(yàn)證單元用于將樣本數(shù)據(jù)集劃分為訓(xùn)練樣本集和測(cè)試樣本集，并利用訓(xùn)練樣本集對(duì)支持向量機(jī)進(jìn)行訓(xùn)練，得到訓(xùn)練結(jié)果，本發(fā)明通過(guò)基于支持向量機(jī)的機(jī)器學(xué)習(xí)建立半導(dǎo)體設(shè)備和工藝的智能控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備和工藝的智能控制。