一種MiniLED芯片的研磨設(shè)備及制作工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110760523.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113601388B 公開（公告）日 2022-07-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN113601388B 申請(qǐng)公布日 2022-07-12
分類號(hào) B24B37/10（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I;B24B37/30（2012.01）I;B24B47/06（2006.01）I;H01L33/00（2010.01）I;H01L33/20（2010.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 李良桐;張萬潔;徐賢強(qiáng);潘連興 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市南極光電子科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 -
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道共和社區(qū)新和路沙一北方永發(fā)科技園5棟一層至四層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種Mini LED芯片的研磨設(shè)備及制作工藝，涉及Mini LED芯片技術(shù)領(lǐng)域，提高了批量半導(dǎo)體襯底的打磨效率，其包括研磨臺(tái)、轉(zhuǎn)動(dòng)連接于研磨臺(tái)上的研磨墊、設(shè)置于研磨墊上方以及用于輸送研磨液的輸送管，所述研磨臺(tái)的上方設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)研磨頭上下移動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)，所述研磨臺(tái)上開設(shè)有呈圓形結(jié)構(gòu)的安裝槽，所述安裝槽中安裝有用于驅(qū)動(dòng)研磨墊轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸端部設(shè)置有呈多邊形結(jié)構(gòu)的插接塊，所述研磨墊的上下兩面均同軸設(shè)有定位桿，所述定位桿的端部設(shè)有呈多邊形結(jié)構(gòu)的插接塊，所述電機(jī)的輸出軸端部開設(shè)有供插接塊插接的插接槽；所述研磨墊的周側(cè)同軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有支撐環(huán)。本申請(qǐng)有效的提高了批量半導(dǎo)體襯底的打磨效率。