一種退火方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010793318.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114078695A 公開（公告）日 2022-02-22
申請公布號 CN114078695A 申請公布日 2022-02-22
分類號 H01L21/268（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 刀正開 申請（專利權(quán)）人 中芯南方集成電路制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市一法律師事務(wù)所 代理人 劉榮娟
地址 200120上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)張江路18號3號樓5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N退火方法，所述方法包括：提供晶圓，所述晶圓包括第一區(qū)域和第二區(qū)域；使用掃描升溫裝置從第一起始點(diǎn)沿第一方向掃描所述第一區(qū)域然后沿第二方向掃描所述第二區(qū)域；使用掃描升溫裝置從第二起始點(diǎn)沿第一方向掃描所述第一區(qū)域然后沿第二方向掃描所述第二區(qū)域；以此類推，使用掃描升溫裝置從第n起始點(diǎn)沿第一方向掃描所述第一區(qū)域然后沿第二方向掃描所述第二區(qū)域完成所述晶圓表面的掃描，其中，所述n為大于等于3的整數(shù)，所述第一起點(diǎn)、所述第二起點(diǎn)、所述第n起點(diǎn)不重疊。本申請所述的退火方法，提高了整個晶圓表面的受熱均勻性，從而提高器件可靠性。