一種微橋結(jié)構(gòu)、微電子器件及微橋結(jié)構(gòu)的制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811291270.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109256401A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-01-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109256401A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-01-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L27/144;H01L31/02;H01L31/18 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 許正一;陳敏;吳多武 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 南京方旭智芯微電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 南京方旭智芯微電子科技有限公司 |
| 地址 | 210000 江蘇省南京市浦口區(qū)南京海峽兩岸科技工業(yè)園臺(tái)中路99-263號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例提供一種微橋結(jié)構(gòu)、微電子器件及微橋結(jié)構(gòu)的制作方法，該微橋結(jié)構(gòu)包括讀出電路基底，該讀出電路基底上制作有第一引出電極；位于讀出電路基底一側(cè)且覆蓋第一引出電極的第一鈍化層；位于第一鈍化層遠(yuǎn)離讀出電路基底一側(cè)的第二引出電極；位于第一鈍化層遠(yuǎn)離讀出電路基底一側(cè)的第二鈍化層，該第二鈍化層覆蓋第二引出電極的部分區(qū)域；位于第二引出電極遠(yuǎn)離第一鈍化層一側(cè)的橋墩結(jié)構(gòu)，該橋墩結(jié)構(gòu)與第二引出電極接觸；其中，第一鈍化層上開(kāi)設(shè)有貫穿該第一鈍化層兩側(cè)的第一通孔，第一通孔中填充有用于第一引出電極與第二引出電極連接的第一連接電極，本發(fā)明能夠有效降低微橋結(jié)構(gòu)的工藝難度，確保器件良率。 |
