從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡(jiǎn)便化工業(yè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010132415.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101875492B 公開(kāi)（公告）日 2013-10-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN101875492B 申請(qǐng)公布日 2013-10-09
分類號(hào) C01B31/36(2006.01)I;C10M175/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 劉來(lái)寶;朱志翔;孫余憑 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇佳宇資源利用股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 222115 江蘇省連云港市贛榆縣金山鎮(zhèn)金橋路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種從硅片切割砂漿中回收碳化硅的簡(jiǎn)便化工業(yè)方法。步驟一，在切割砂漿中加入稀釋劑，以降低體系粘度；步驟二，將降低粘度后的砂漿通過(guò)精密過(guò)濾裝置A進(jìn)行一級(jí)分離，根據(jù)硅材料線切割對(duì)碳化硅磨料的粒度分布要求設(shè)定控制過(guò)濾精度，得到固體組份S1；步驟三，對(duì)固體組份S1進(jìn)行堿洗、酸洗和清洗，濕料經(jīng)烘干可直接得到可滿足硅材料線切割要求的高品質(zhì)碳化硅；步驟四，對(duì)經(jīng)過(guò)一級(jí)分離后的砂漿液體，再通過(guò)精密過(guò)濾裝置B進(jìn)行二級(jí)分離，控制過(guò)濾精度使得能夠截留的最小通過(guò)顆粒在2μm以下，得到固體物質(zhì)S2和分離清液；步驟五，對(duì)二級(jí)分離所得到進(jìn)行堿洗、酸洗和清洗，濕料經(jīng)烘干，收集得到粒度更小的碳化硅微粉用于其它工業(yè)場(chǎng)合。