從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡便化工業(yè)方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201010132415.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN101875492B | 公開(公告)日 | 2013-10-09 |
申請公布號 | CN101875492B | 申請公布日 | 2013-10-09 |
分類號 | C01B31/36(2006.01)I;C10M175/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 分類 | 無機化學; |
發(fā)明人 | 劉來寶;朱志翔;孫余憑 | 申請(專利權)人 | 江蘇佳宇資源利用股份有限公司 |
代理機構 | - | 代理人 | - |
地址 | 222115 江蘇省連云港市贛榆縣金山鎮(zhèn)金橋路8號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及一種從硅片切割砂漿中回收碳化硅的簡便化工業(yè)方法。步驟一,在切割砂漿中加入稀釋劑,以降低體系粘度;步驟二,將降低粘度后的砂漿通過精密過濾裝置A進行一級分離,根據硅材料線切割對碳化硅磨料的粒度分布要求設定控制過濾精度,得到固體組份S1;步驟三,對固體組份S1進行堿洗、酸洗和清洗,濕料經烘干可直接得到可滿足硅材料線切割要求的高品質碳化硅;步驟四,對經過一級分離后的砂漿液體,再通過精密過濾裝置B進行二級分離,控制過濾精度使得能夠截留的最小通過顆粒在2μm以下,得到固體物質S2和分離清液;步驟五,對二級分離所得到進行堿洗、酸洗和清洗,濕料經烘干,收集得到粒度更小的碳化硅微粉用于其它工業(yè)場合。 |
