一種銅腐蝕液用生產(chǎn)線及其生產(chǎn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010716163.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111871294A 公開（公告）日 2020-11-03
申請公布號 CN111871294A 申請公布日 2020-11-03
分類號 B01F13/06(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 殷金虎;李虎寶;李冬明 申請（專利權(quán)）人 江陰市化學(xué)試劑廠有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江陰市權(quán)益專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江陰市化學(xué)試劑廠有限公司
地址 214420江蘇省無錫市江陰市華士鎮(zhèn)向陽橋堍
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種銅腐蝕液用生產(chǎn)線及其生產(chǎn)方法，所述銅腐蝕液生產(chǎn)方法的生產(chǎn)步驟為：抽真空、加乙酸、加硝酸、加磷酸、加表面活性劑、過濾、檢驗(yàn)和儲(chǔ)存分裝；所述包含配制罐（1）、乙酸儲(chǔ)罐（2）、硝酸儲(chǔ)罐（3）、磷酸儲(chǔ)罐（4）、表面活性劑儲(chǔ)罐（5）、真空泵（6）、單向閥（7）、三通（8）、壓縮空氣水洗裝置（9）、濾芯（10）、檢驗(yàn)裝置（11）和三通閥（12）。本發(fā)明生產(chǎn)的銅腐蝕液不腐蝕鋁、鎵等金屬層及硅片、銅腐蝕速率平穩(wěn)可控、生產(chǎn)成本低。??