一種銅腐蝕液用生產(chǎn)線
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | 2020214716573 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212396595U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-01-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212396595U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-26 |
| 分類(lèi)號(hào) | B01F13/06(2006.01)I; | 分類(lèi) | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 殷金虎;李虎寶;李冬明 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江陰市化學(xué)試劑廠有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 江陰市權(quán)益專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陳強(qiáng) |
| 地址 | 214420江蘇省無(wú)錫市江陰市華士鎮(zhèn)向陽(yáng)橋堍 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種銅腐蝕液用生產(chǎn)線，所述銅腐蝕液用生產(chǎn)線包含配制罐（1）、乙酸儲(chǔ)罐（2）、硝酸儲(chǔ)罐（3）、磷酸儲(chǔ)罐（4）、表面活性劑儲(chǔ)罐（5）、真空泵（6）、單向閥（7）、三通（8）、壓縮空氣水洗裝置（9）、濾芯（10）、檢驗(yàn)裝置（11）和三通閥（12）；所述配制罐（1）頂部設(shè)有四個(gè)進(jìn)料口和一個(gè)出氣口，四個(gè)進(jìn)料口分別與乙酸儲(chǔ)罐（2）、硝酸儲(chǔ)罐（3）、磷酸儲(chǔ)罐（4）和表面活性劑儲(chǔ)罐（5）通過(guò)管道相連，出氣口與真空泵（6）相連。本實(shí)用新型生產(chǎn)的銅腐蝕液不腐蝕鋁、鎵等金屬層及硅片、銅腐蝕速率平穩(wěn)可控、生產(chǎn)成本低。?? |
