可開盒即用的藍(lán)寶石晶片清洗工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010039173.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111185433A 公開（公告）日 2020-05-22
申請公布號 CN111185433A 申請公布日 2020-05-22
分類號 B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B1/00;B08B7/04;H01L21/02;H01L33/00;F26B11/02;F26B3/30 分類 清潔;
發(fā)明人 高長有;劉敏;陳志敏;張頊 申請（專利權(quán)）人 江蘇京晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京行高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江蘇京晶光電科技有限公司
地址 213300 江蘇省常州市溧陽市上黃科技創(chuàng)業(yè)園飛躍路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種可開盒即用的藍(lán)寶石晶片清洗工藝，包括先用清洗劑、超純水對藍(lán)寶石晶片多次超聲震洗以去除晶片表面的臟污和細(xì)小顆粒；其次刷洗晶片以去除晶片表面的大顆粒；然后對晶片噴淋乳化劑以控制晶片表面的吸附狀態(tài)；再使用有機(jī)溶劑噴淋晶片以避免污染物的二次吸附；最后用旋干機(jī)烘干晶片后靜置并烤干。本發(fā)明可使藍(lán)寶石晶片清洗完后進(jìn)行PSS生產(chǎn)時(shí)，在直接使用晶片的情況下得到較高的成品良率。