一種分壓墊

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921567611.9 申請日 -
公開（公告）號 CN210550375U 公開（公告）日 2020-05-19
申請公布號 CN210550375U 申請公布日 2020-05-19
分類號 B24B37/30;B24B37/34 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 高長有;張行富;陳志敏;張頊 申請（專利權(quán)）人 江蘇京晶光電科技有限公司
代理機構(gòu) 南京行高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江蘇京晶光電科技有限公司
地址 213300 江蘇省常州市溧陽市上黃科技創(chuàng)業(yè)園飛躍路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種分壓墊，設(shè)置在壓力盤和陶瓷盤之間，包括墊片，墊片中心位置開設(shè)圓形貫穿孔，其一面與壓力盤粘接固定，另一面開設(shè)多道橫向溝槽和縱向溝槽，墊片還開設(shè)有去真空凹槽和通氣孔，去真空凹槽穿過圓形貫穿孔，兩個通氣孔位于去真孔凹槽的兩端槽體內(nèi)，在墊片的中心位置掏孔，使壓力盤底部兩側(cè)的晶片在拋光過程中受力集中，提高晶片的拋光精度和效果，同時將墊片粘接固定在壓力盤上，并在墊片上開設(shè)橫向溝槽和縱向溝槽，增加墊片與陶瓷盤和晶片的摩擦力度，避免墊片在工作高速旋轉(zhuǎn)時發(fā)生位移，提高晶體的拋光精度和效果，并且在加工結(jié)束升起壓力盤時，外界空氣可通過通氣孔進入到去真空槽內(nèi)，避免壓力盤在升起時將陶瓷盤帶起。