在中溫下彈坑檢測的預(yù)處理方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711041685.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN107799399A | 公開（公告）日 | 2018-03-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107799399A | 申請(qǐng)公布日 | 2018-03-13 |
| 分類號(hào) | H01L21/02 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 章建聲;曹弦;黃迅駒;張青云 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江華越芯裝電子股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 紹興市越興專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 浙江華越芯裝電子股份有限公司 |
| 地址 | 312000 浙江省紹興市環(huán)城西路天光橋3號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開一種在中溫下彈坑檢測的預(yù)處理方法，先將待檢硅片浸入裝有腐蝕液A的1號(hào)燒杯中，然后將整個(gè)1號(hào)燒杯中溫水浴5?10分鐘，接著取出待檢硅片并用純水沖洗干燥，然后將待檢硅片放入裝有腐蝕液B的2號(hào)燒杯中，并將整個(gè)2號(hào)燒杯中溫水浴5?10分鐘，最后將預(yù)處理后的待檢硅片取出清洗干凈，置于高倍顯微鏡下檢測。上述在中溫下彈坑檢測的預(yù)處理方法，通過腐蝕液A、腐蝕液B在中溫狀態(tài)下先后腐蝕，即可實(shí)現(xiàn)AL?Si?CU電極層上銅絲球焊質(zhì)量的檢測，整個(gè)預(yù)處理過程快速高效、安全環(huán)保，且操作方便。 |
