碲鋅鎘探測器與碲鋅鎘探測器的柵極鈍化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210174634.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114242846B 公開（公告）日 2022-05-17
申請公布號 CN114242846B 申請公布日 2022-05-17
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/119（2006.01）I;C09G1/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 段志昱;楊帆;湯三奇;盛麗娜;賀琪;賈寧波;康丹妮;席守智 申請（專利權(quán)）人 陜西迪泰克新材料有限公司
代理機構(gòu) 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 712000陜西省咸陽市西咸新區(qū)秦漢新城周陵新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)天工一路東段8號-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種碲鋅鎘探測器與碲鋅鎘探測器的柵極鈍化方法，所述碲鋅鎘探測器的柵極鈍化方法包括：對制備有陽極的碲鋅鎘晶片的上表面進行光刻處理，在陽極的表面覆蓋第一厚度的光刻膠層，將柵極露出；對碲鋅鎘晶片的上表面進行化學拋光處理，去除柵極的表面的富碲層，基于化學拋光的反應產(chǎn)物在柵極的表面形成高阻鈍化層，并使得陽極的表面保留第二厚度的光刻膠層；其中，第一厚度大于或等于第二厚度，第二厚度大于零。本發(fā)明處理工藝簡單，能夠在保護陽極的前提下實現(xiàn)對柵極的鈍化處理，可有效降低碲鋅鎘探測器的漏電流，實現(xiàn)在較高的偏壓下對碲鋅鎘探測器進行能譜測試，確保碲鋅鎘探測器達到較高的能譜分辨率。