回轉(zhuǎn)夾持裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210101931.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114346938A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114346938A 申請(qǐng)公布日 2022-04-15
分類號(hào) B25B11/00（2006.01）I 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 楊帆;賈寧波;湯三奇;盛麗娜;王苗;王濤;席守智 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 陜西迪泰克新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄒義威
地址 712000陜西省咸陽(yáng)市西咸新區(qū)秦漢新城周陵新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)天工一路東段8號(hào)-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，提供一種回轉(zhuǎn)夾持裝置。上述的回轉(zhuǎn)夾持裝置，包括：金屬夾持工具用于與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，以驅(qū)動(dòng)金屬夾持工具旋轉(zhuǎn)；管材的第一端由金屬夾持工具夾持，管材的第二端用于伸入晶體生長(zhǎng)設(shè)備內(nèi)，管材的熔化或軟化溫度高于晶體生長(zhǎng)設(shè)備的加熱溫度。本發(fā)明提供的回轉(zhuǎn)夾持裝置，通過(guò)采用金屬材料制作金屬夾持工具，滿足了精密機(jī)械加工的需求；管材采用耐高溫材料可以在晶體生長(zhǎng)設(shè)備內(nèi)動(dòng)作，金屬夾持工具位于晶體生長(zhǎng)設(shè)備低溫區(qū)，管材的一端位于晶體生長(zhǎng)設(shè)備高溫區(qū)，實(shí)現(xiàn)了管材與金屬夾持工具無(wú)需調(diào)整即可達(dá)到高同軸度，且傳遞一定旋轉(zhuǎn)力矩的目的，解決了現(xiàn)有技術(shù)中單純采用金屬材料或陶瓷材料無(wú)法滿足半導(dǎo)體材料制作需求的問(wèn)題。