回轉(zhuǎn)夾持裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210101931.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114346938A 公開（公告）日 2022-04-15
申請公布號 CN114346938A 申請公布日 2022-04-15
分類號 B25B11/00（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機械手;
發(fā)明人 楊帆;賈寧波;湯三奇;盛麗娜;王苗;王濤;席守智 申請（專利權(quán)）人 陜西迪泰克新材料有限公司
代理機構(gòu) 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄒義威
地址 712000陜西省咸陽市西咸新區(qū)秦漢新城周陵新興產(chǎn)業(yè)園區(qū)天工一路東段8號-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，提供一種回轉(zhuǎn)夾持裝置。上述的回轉(zhuǎn)夾持裝置，包括：金屬夾持工具用于與驅(qū)動機構(gòu)連接，以驅(qū)動金屬夾持工具旋轉(zhuǎn)；管材的第一端由金屬夾持工具夾持，管材的第二端用于伸入晶體生長設(shè)備內(nèi)，管材的熔化或軟化溫度高于晶體生長設(shè)備的加熱溫度。本發(fā)明提供的回轉(zhuǎn)夾持裝置，通過采用金屬材料制作金屬夾持工具，滿足了精密機械加工的需求；管材采用耐高溫材料可以在晶體生長設(shè)備內(nèi)動作，金屬夾持工具位于晶體生長設(shè)備低溫區(qū)，管材的一端位于晶體生長設(shè)備高溫區(qū)，實現(xiàn)了管材與金屬夾持工具無需調(diào)整即可達(dá)到高同軸度，且傳遞一定旋轉(zhuǎn)力矩的目的，解決了現(xiàn)有技術(shù)中單純采用金屬材料或陶瓷材料無法滿足半導(dǎo)體材料制作需求的問題。