制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜的方法及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510598395.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN105304732B 公開（公告）日 2017-08-25
申請公布號(hào) CN105304732B 申請公布日 2017-08-25
分類號(hào) H01L31/0224(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉佳 申請（專利權(quán)）人 河北貴能新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 河北曹妃甸漢能薄膜太陽能有限公司;河北貴能新能源科技有限公司
地址 063200 河北省唐山市曹妃甸工業(yè)區(qū)市政大廈5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜的方法及其應(yīng)用，該方法包括：(1)利用導(dǎo)電氧化物，在襯底的一個(gè)表面上進(jìn)行沉積處理，以便形成沉積薄膜，沉積處理包括依次進(jìn)行的一次沉積和二次沉積；以及(2)對沉積薄膜進(jìn)行濕法蝕刻，以便形成透明導(dǎo)電氧化物薄膜，其中，一次沉積是在0～400攝氏度的溫度下進(jìn)行的，以及二次沉積是在400～800攝氏度的溫度下進(jìn)行的。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，利用本發(fā)明的該方法，能夠快速有效地制備獲得透明導(dǎo)電氧化物薄膜，且步驟簡單，操作容易、方便快捷，制備獲得的透明導(dǎo)電氧化物薄膜具有較高的光透過率、高霧度和較高的均勻性。