一種芯片表面用清潔設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020536985.0 申請日 -
公開（公告）號 CN212018794U 公開（公告）日 2020-11-27
申請公布號 CN212018794U 申請公布日 2020-11-27
分類號 B08B6/00(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 朱延政 申請（專利權(quán)）人 江蘇止芯科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京盛凡智榮知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 尚欣
地址 210000江蘇省南京市秦淮區(qū)永智路6號南京白下高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)四號樓A棟1104-4室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及芯片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種芯片表面用清潔設(shè)備，包括殼體，所述殼體內(nèi)壁的兩側(cè)均水平焊接有滑軌，滑軌的滑槽內(nèi)滑動配合有燕尾滑塊，燕尾滑塊之間焊接有支架，殼體一側(cè)的中部開設(shè)有螺紋通孔，且螺紋通孔內(nèi)旋轉(zhuǎn)配合有T形螺紋桿，T形螺紋桿螺紋部的一端與支架的垂直部安裝固定，支架的水平部插設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸，每個支架通過旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)配合有第一靜電輥軸和第二靜電輥軸，殼體內(nèi)壁的一側(cè)通過螺釘傾斜安裝固定有傳送帶，殼體一側(cè)的下部開設(shè)有通槽和收集盒。本實用新型中，第一靜電輥軸和第二靜電輥軸同時對芯片進(jìn)行清潔，很好的對芯片的表面進(jìn)行清潔，提高的芯片生產(chǎn)的效率，大大滿足了人們的實用需求。??