一種垂直結(jié)構(gòu)的MgZnO/ZnO日盲探測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910646981.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110335907B 公開（公告）日 2022-07-12
申請公布號 CN110335907B 申請公布日 2022-07-12
分類號 H01L31/0296（2006.01）I;H01L31/109（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 童瀟 申請（專利權(quán)）人 廣東光鈦領(lǐng)先新材料有限公司
代理機構(gòu) 上海微策知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 523000 廣東省東莞市寮步鎮(zhèn)寮步松柏路310號1棟1005室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及日盲探測器的相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，本發(fā)明提供了一種ZnO單晶作導(dǎo)電襯底的垂直型MgZnO/ZnO異質(zhì)結(jié)日盲探測器及其制備方法。本發(fā)明的第一方面提供一種六方相日盲帶隙的MgZnO薄膜，制備原料為MgxZnyO，x+y＝1,0.25≤x≤0.45，0.75≤y≤0.55。