一種垂直結(jié)構(gòu)的MgZnO/ZnO日盲探測(cè)器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910646981.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110335907A 公開（公告）日 2019-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN110335907A 申請(qǐng)公布日 2019-10-15
分類號(hào) H01L31/0296;H01L31/109;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 童瀟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東光鈦領(lǐng)先新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海微策知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳前海量子翼納米碳科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)前海深港合作區(qū)前灣一路1號(hào)A棟201室(入駐深圳市前海商務(wù)秘書有限公司)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及日盲探測(cè)器的相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，本發(fā)明提供了一種ZnO單晶作導(dǎo)電襯底的垂直型MgZnO/ZnO異質(zhì)結(jié)日盲探測(cè)器及其制備方法。本發(fā)明的第一方面提供一種六方相日盲帶隙的MgZnO薄膜，制備原料為MgxZnyO，x+y＝1,0.25≤x≤0.45，0.75≤y≤0.55。