一種用于堿背多晶黑硅片的清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121912410.5 申請日 -
公開（公告）號 CN215785526U 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN215785526U 申請公布日 2022-02-11
分類號 B08B11/00（2006.01）I;B08B11/02（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 趙衛(wèi)東;楊冬琴;蔣勇;周波;申忍 申請（專利權(quán)）人 江蘇東鋆光伏科技有限公司
代理機構(gòu) 江陰市輕舟專利代理事務所（普通合伙） 代理人 孫燕波
地址 214421江蘇省無錫市江陰市華士鎮(zhèn)海達路５８號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于堿背多晶黑硅片的清洗裝置，涉及多晶黑硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型包括儲液桶、支撐架和若干清洗盤，支撐架為中空圓環(huán)狀架體結(jié)構(gòu)，支撐架固定在儲液桶外表面的上部，支撐架周側(cè)面設有若干外凸殼，支撐架內(nèi)底面通過回轉(zhuǎn)支承轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)圈。本實用新型通過設置吸附盤能夠?qū)杵M行吸附固定，同時通過設置可旋轉(zhuǎn)的吸附盤能夠帶動硅片進行轉(zhuǎn)動，并且在清洗盤一側(cè)設置噴頭，能夠?qū)崿F(xiàn)離心清洗，能夠有效提高硅片的清洗效率，同時設置多個清洗座，并且配置適配的傳動機構(gòu)，能夠使用一個驅(qū)動電機同時控制多個吸附盤的旋轉(zhuǎn)，從而大大提高清洗效率，并且具備節(jié)能的作用。