一種通過金剛線切割硅片制備電池片的加工工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010423181.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111599892B 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN111599892B 申請公布日 2022-02-11
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I;H01L31/0224（2006.01）I;H01L31/0236（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙衛(wèi)東;劉旦生;鞠飛;王斯明;劉才廣;江興峰 申請（專利權(quán)）人 江蘇東鋆光伏科技有限公司
代理機構(gòu) 江陰市輕舟專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫燕波
地址 214421江蘇省無錫市江陰市華士鎮(zhèn)海達路５８號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種通過金剛線切割硅片制備電池片的加工工藝，選取金剛線切割得到的多晶硅片為基片，將基片依次放入硝酸、氫氟酸中進行清洗拋光，去除基片表面損傷層；再在基片正表面制備光刻掩膜層，再通過蒸汽制絨法制絨，接著在基片正表面通過POCL3液態(tài)擴散源熱擴散法制備P?N結(jié)，最后在基片正表面進行濕法刻蝕，鍍減反射膜，印刷燒結(jié)，得到成品；本發(fā)明公開了一種通過金剛線切割硅片制備電池片的加工工藝，工藝設(shè)計合理，操作簡單可控，選用金剛線切割的硅片作為基片進行加工，制備得到電學(xué)性能優(yōu)異的電池片，從而提高太陽能電池的開路電壓，短路電流及填充因子，提高轉(zhuǎn)換效率，實現(xiàn)降本提效的目的，具有較高的實用性。