寬角度寬波段增透膜及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710575811.8 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN109254332A 公開（公告）日 2019-01-22
申請公布號(hào) CN109254332A 申請公布日 2019-01-22
分類號(hào) G02B1/115 分類 光學(xué);
發(fā)明人 丁佳軼;崔鵬程;解爽博 申請（專利權(quán)）人 翼芯紅外傳感技術(shù)（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智信專利代理有限公司 代理人 王潔;鄭暄
地址 201100 上海市閔行區(qū)江月路999號(hào)14號(hào)樓5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種寬角度寬波段增透膜及其制備方法和應(yīng)用，其中的應(yīng)用為將寬角度寬波段增透膜鍍于紅外氣體傳感器光源的出光窗口，增加該紅外氣體傳感器光源的出光窗口的透射率。該種寬角度寬波段增透膜，對(duì)入射角度在20°到50°范圍內(nèi)的光實(shí)現(xiàn)較好的增透效果，以ZnSe為襯底，在該ZnSe的上下表面鍍有相同膜系，共八層，由氧化鋅和冰晶石交替而成，制備中包含有如下準(zhǔn)備工序：通過透射和反射譜測試，測算出ZnSe襯底、冰晶石和氧化鋅層的折射率，借助光學(xué)膜系設(shè)計(jì)軟件求出滿足透射率要求的各層的厚度，并采用磁控濺射的方法制備多層膜系，還可在制備完成后通過測試樣品的增透率來驗(yàn)證其是否滿足設(shè)計(jì)要求。