一種高性能拋光膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110225646.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112980035A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN112980035A 申請公布日 2021-06-18
分類號 C08J7/046;C09D163/02;C09D7/61;C08L67/00 分類 有機高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 譚錦錦;程麗芳;邢繼軍 申請（專利權(quán)）人 北京國瑞升科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京紐樂康知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉艷艷
地址 100085 北京市海淀區(qū)上地信息路12號1號樓C402、C406室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高性能拋光膜及其制備方法，所述高性能拋光膜包括基材和設(shè)置于所述基材表面的研磨涂層，所述研磨涂層是由研磨微粉、樹脂膠、增韌劑和空心微球混合得到的涂布液涂布在所述基材表面形成的固化干燥層。本發(fā)明的高性能拋光膜通過加入增韌劑改善涂層的柔韌性，從而減少了涂層內(nèi)收縮應(yīng)力，增加了涂層和基材的附著力；通過加入空心微球分散了樹脂固化后的收縮應(yīng)力，從而改善了拋光膜成品的向磨料面卷曲問題；分散在基體中的微球在磨拋材料被磨削過程中起到吸收和緩沖磨削力的作用，從而在原有磨拋材料的粘接強度不大幅下降的情況下，提升研磨壽命。