一種蒸鍍膜厚校準(zhǔn)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123176500.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216738501U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216738501U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-14 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 岳小非;王煦;蔡長(zhǎng)生;張悅;戴雷;蔡麗菲 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 四川阿格瑞新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州嘉權(quán)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 620564四川省眉山市仁壽縣視高街道騰飛大道三段1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種蒸鍍膜厚校準(zhǔn)裝置，包括水晶晶振片、振蕩器、控制系統(tǒng)、電源、蒸發(fā)源、校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)和蒸鍍室；所述蒸發(fā)源和所述水晶晶振片均位于所述蒸鍍室內(nèi)，所述水晶晶振片位于所述蒸發(fā)源的上方；所述水晶晶振片與所述振蕩器電性連接，所述振蕩器與所述控制系統(tǒng)電性連接；所述校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)與所述水晶晶振片連接，所述校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)與所述控制系統(tǒng)電性連接，所述控制系統(tǒng)和所述蒸發(fā)源均與所述電源電性連接。本實(shí)用新型的蒸鍍膜厚校準(zhǔn)裝置，能夠調(diào)節(jié)水晶晶振片與蒸發(fā)源之間的距離，保證固定頻率變化的量不變，進(jìn)而保證實(shí)際計(jì)算的蒸鍍速率不變，降低最終得到的實(shí)際膜厚的誤差。 |
