一種拉拔模具沉積金剛石涂層的方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910316045.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110042361B 公開（公告）日 2021-03-23
申請公布號 CN110042361B 申請公布日 2021-03-23
分類號 C23C16/27(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 崔玉明;李國華;姜龍;王少巖 申請（專利權）人 河北省激光研究所有限公司
代理機構 石家莊冀科專利商標事務所有限公司 代理人 李羨民;周曉萍
地址 050081 河北省石家莊市橋西區(qū)友誼南大街46號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種拉拔模具沉積金剛石涂層的方法及裝置，將待加工的拉拔模具放置到模具襯套組件內(nèi)，將模具襯套組件放置到真空室的中部，將等離子炬設置在模具襯套組件的正上方，等離子體射流的徑向面積大于待加工拉拔模具的內(nèi)孔，沉積過程使等離子體射流穿過拉拔模具內(nèi)孔，在拉拔模具內(nèi)壁制備出厚度及粒度均勻的金剛石涂層。本發(fā)明可實現(xiàn)在不規(guī)則孔型的模具內(nèi)壁制備出厚度及粒度均勻的金剛石涂層。本發(fā)明技術工藝穩(wěn)定、不受模具孔型和孔徑限制，制備出的金剛石涂層拉拔模具使用壽命和金剛石涂層純度好，對降低生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)品質(zhì)量，尤其是在制備大孔徑和不規(guī)則孔拉拔模具方面，具有獨到的優(yōu)勢。??