鍍膜設(shè)備狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)控裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022159528.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN213327818U 公開(公告)日 2021-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN213327818U 申請(qǐng)公布日 2021-06-01
分類號(hào) C23C14/54(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王念;朱亞安;段堯;陳俐欣;張春梅;楊天倫 申請(qǐng)(專利權(quán))人 云南北方奧雷德光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 昆明祥和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 施建輝
地址 650223云南省昆明市五華區(qū)教場(chǎng)東路31號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型為一種鍍膜設(shè)備狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)控裝置,該裝置設(shè)置于腔體底板中央,由氣缸、空心保護(hù)柱、步進(jìn)電機(jī)和攝像頭組成:氣缸設(shè)置在鍍膜設(shè)備的高真空腔體底板外,腔體底板設(shè)置真空法蘭,活塞穿過(guò)真空法蘭進(jìn)入腔體內(nèi);腔體底板上垂直設(shè)置空心保護(hù)柱,氣缸活塞與空心保護(hù)柱同軸;活塞頂部依次向上設(shè)置有氣缸、步進(jìn)電機(jī)及攝像頭,步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)子帶動(dòng)攝像頭旋轉(zhuǎn),所述氣缸、步進(jìn)電機(jī)及攝像頭均設(shè)置于空心保護(hù)柱內(nèi);空心保護(hù)柱頂面中央開孔,開孔大小與攝像頭匹配;攝像頭、步進(jìn)電機(jī)和氣缸同時(shí)與控制器電性連接。該裝置可實(shí)時(shí)監(jiān)控?fù)醢搴哇釄蹇跔顩r以及腔內(nèi)任何可移動(dòng)部件上的材料沉積情況、腔壁附著材料剝落情況,為隨后的故障排除提供有力的支持。??