可翻轉(zhuǎn)承載裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011035365.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112111723A | 公開（公告）日 | 2020-12-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112111723A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-22 |
| 分類號(hào) | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 段堯;鄧榮斌;王念;張麗娟;魯朝宇;段登輝;馬興民 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 云南北方奧雷德光電科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 昆明祥和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 云南北方奧雷德光電科技股份有限公司 |
| 地址 | 650223云南省昆明市五華區(qū)教場(chǎng)東路31號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及超高真空成膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種可翻轉(zhuǎn)承載裝置，該裝置包括行星基片架、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置在行星基片架上表面，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的垂直轉(zhuǎn)軸設(shè)置于行星基片架中央，垂直轉(zhuǎn)軸上端與伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)子聯(lián)動(dòng)，轉(zhuǎn)子與垂直轉(zhuǎn)軸間設(shè)置有電磁離合器；垂直轉(zhuǎn)軸下端與扇形旋轉(zhuǎn)架的圓心角處連接；扇形旋轉(zhuǎn)架弧面上設(shè)置輪齒；翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置在行星基片架開孔處，翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的固定夾為環(huán)形，固定夾上設(shè)置用于鎖定基片的夾具；固定夾兩側(cè)設(shè)置翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸，行星基片架開孔處設(shè)置對(duì)應(yīng)的軸承，一側(cè)翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸上設(shè)置翻轉(zhuǎn)齒輪，所述翻轉(zhuǎn)齒輪與扇形旋轉(zhuǎn)架嚙合。該裝置機(jī)械結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，后期便于維護(hù)，可以得到廣泛的應(yīng)用。?? |
