可翻轉(zhuǎn)承載裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022159569.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213570715U 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN213570715U 申請公布日 2021-06-29
分類號 C23C14/50（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 段堯;鄧榮斌;王念;張麗娟;魯朝宇;段登輝;馬興民 申請（專利權(quán)）人 云南北方奧雷德光電科技股份有限公司
代理機構(gòu) 昆明祥和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張亦凡
地址 650223云南省昆明市五華區(qū)教場東路31號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及超高真空成膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種可翻轉(zhuǎn)承載裝置，該裝置包括行星基片架、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)設(shè)置在行星基片架上表面，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的垂直轉(zhuǎn)軸設(shè)置于行星基片架中央，垂直轉(zhuǎn)軸上端與伺服電機的轉(zhuǎn)子聯(lián)動，轉(zhuǎn)子與垂直轉(zhuǎn)軸間設(shè)置有電磁離合器；垂直轉(zhuǎn)軸下端與扇形旋轉(zhuǎn)架的圓心角處連接；扇形旋轉(zhuǎn)架弧面上設(shè)置輪齒；翻轉(zhuǎn)機構(gòu)設(shè)置在行星基片架開孔處，翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的固定夾為環(huán)形，固定夾上設(shè)置用于鎖定基片的夾具；固定夾兩側(cè)設(shè)置翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸，行星基片架開孔處設(shè)置對應(yīng)的軸承，一側(cè)翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸上設(shè)置翻轉(zhuǎn)齒輪，所述翻轉(zhuǎn)齒輪與扇形旋轉(zhuǎn)架嚙合。該裝置機械結(jié)構(gòu)簡單，后期便于維護，可以得到廣泛的應(yīng)用。