一種刻蝕裝置及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610752656.8 申請日 -
公開（公告）號 CN106328512A 公開（公告）日 2017-01-11
申請公布號 CN106328512A 申請公布日 2017-01-11
分類號 H01L21/306(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊澤新 申請（專利權）人 貴州乾萃科技有限公司
代理機構 北京超凡志成知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 李進
地址 563000 貴州省遵義市新蒲經濟開發(fā)區(qū)辦公室二樓202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種刻蝕裝置及其使用方法。本發(fā)明刻蝕裝置包括1個或多個刻蝕槽和過濾槽；所述過濾槽中設有過濾裝置；所述過濾槽分別與每個刻蝕槽通過管路相連；所述過濾槽與循環(huán)裝置通過管路相連，所述循環(huán)裝置分別與每個刻蝕槽通過管路相連。本發(fā)明刻蝕裝置通過循環(huán)裝置，使刻蝕液循環(huán)流動，僅清理過濾槽中的廢渣即可。本發(fā)明刻蝕裝置具有結構簡單，可循環(huán)利用刻蝕液，能夠提高生產效率和刻蝕液的利用效率等優(yōu)點。本發(fā)明刻蝕裝置的使用方法簡單，可連續(xù)進行刻蝕工藝，能夠提高生產效率和刻蝕液的利用效率。