微型真空計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820515143.X 申請日 -
公開（公告）號 CN208206381U 公開（公告）日 2018-12-07
申請公布號 CN208206381U 申請公布日 2018-12-07
分類號 G01L21/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 魏德波;候影;劉瑞文;傅劍宇;呂文龍;王瑋冰;陳大鵬 申請（專利權(quán)）人 昆山光微電子有限公司
代理機構(gòu) 昆山中際國創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張文婷
地址 215300 江蘇省蘇州市昆山市周莊鎮(zhèn)園區(qū)大道南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種微型真空計，包括底座、框架、絕緣基底、二極管、電阻、懸臂梁和電學連線，框架固定在底座四周，懸臂梁至少為兩個，懸臂梁的一端與絕緣基底固定連接，懸臂梁的另一端固定于框架的上側(cè)面上，至少兩個懸臂梁將絕緣基底懸空固定于框架上；二極管和電阻設于絕緣基底上，電學連線將電阻和二極管電性連接并從懸臂梁上引出。本實用新型通過配置二極管數(shù)量、二極管的串并聯(lián)方式、串聯(lián)電阻大小、絕緣基底與底座之間的間隙實現(xiàn)對不同真空度的精確檢測，具有配置靈活、靈敏度高、量程大的優(yōu)點。此外，該真空計還具有結(jié)構(gòu)及制作方法簡單、與CMOS工藝兼容、加工誤差容限大、成本低等優(yōu)點。