薄膜晶體管的制備方法、陣列基板及液晶顯示面板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811344322.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109616419A 公開（公告）日 2019-04-12
申請公布號 CN109616419A 申請公布日 2019-04-12
分類號 H01L21/445;H01L21/34;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/786;G02F1/1362 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王帥毅 申請（專利權(quán)）人 中國銀行股份有限公司雙流分行
代理機構(gòu) 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 成都中電熊貓顯示科技有限公司
地址 610200 四川省成都市雙流區(qū)公興街道青欄路1778號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種薄膜晶體管的制備方法、陣列基板及液晶顯示面板。薄膜晶體管的制備方法包括以下步驟：在柵極層上形成β型聚偏氟乙烯的第一絕緣層；在所述β型聚偏氟乙烯的第一絕緣層上形成銦鎵鋅氧化物半導(dǎo)體層；在所述銦鎵鋅氧化物半導(dǎo)體層上形成源極和漏極；在所述源極和漏極上形成絕緣保護(hù)層。本發(fā)明能夠提高器件的可靠性。