薄膜晶體管的制備方法、陣列基板及液晶顯示面板

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811344322.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109616419B 公開(kāi)（公告）日 2019-10-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN109616419B 申請(qǐng)公布日 2019-10-11
分類(lèi)號(hào) H01L21/445;H01L21/34;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/786;G02F1/1362 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 王帥毅 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 中國(guó)銀行股份有限公司雙流分行
代理機(jī)構(gòu) 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 成都中電熊貓顯示科技有限公司
地址 610200 四川省成都市雙流區(qū)公興街道青欄路1778號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種薄膜晶體管的制備方法、陣列基板及液晶顯示面板。薄膜晶體管的制備方法包括以下步驟：在柵極層上形成β型聚偏氟乙烯的第一絕緣層；在所述β型聚偏氟乙烯的第一絕緣層上形成銦鎵鋅氧化物半導(dǎo)體層；在所述銦鎵鋅氧化物半導(dǎo)體層上形成源極和漏極；在所述源極和漏極上形成絕緣保護(hù)層。本發(fā)明能夠提高器件的可靠性。