一種集成電路生產(chǎn)用基片涂層烘干箱

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022560469.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213670291U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213670291U 申請公布日 2021-07-13
分類號 B05D3/04（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 龐佳敏 申請（專利權(quán)）人 新疆芯團科技集團有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 835000新疆維吾爾自治區(qū)伊犁哈薩克自治州霍爾果斯市工業(yè)園區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園（北京路以西、蘇州路以北）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種集成電路生產(chǎn)用基片涂層烘干箱，包括烘干箱，烘干箱內(nèi)部開設(shè)有驅(qū)動腔和烘干腔，烘干腔和驅(qū)動腔之間開設(shè)有若干進風(fēng)孔，烘干腔另一內(nèi)腔壁貫穿烘干箱的外壁開設(shè)有若干出風(fēng)孔，驅(qū)動腔的另一內(nèi)腔壁貫穿烘干箱的外壁開設(shè)有進風(fēng)口，進風(fēng)口內(nèi)嵌入固定安裝有進風(fēng)格柵，烘干箱一側(cè)的側(cè)邊處通過鉸鏈連接有箱門，箱門貼附在烘干腔的腔口處，驅(qū)動腔內(nèi)固定安裝有熱風(fēng)機構(gòu)，熱風(fēng)機構(gòu)包括電機和電阻加熱棒，電機固定安裝在驅(qū)動腔遠離烘干腔的內(nèi)腔壁中心位置，電阻加熱棒的兩端分別與驅(qū)動腔的上腔頂和下腔底垂直固定連接，本實用新型一種集成電路生產(chǎn)用基片涂層烘干箱，具有烘干效率高以及烘干效果好的特點。