一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用蝕刻加工設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022547170.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213124393U 公開(kāi)（公告）日 2021-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN213124393U 申請(qǐng)公布日 2021-05-04
分類(lèi)號(hào) H01L21/67;H01L21/677 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 龐佳敏 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 新疆芯團(tuán)科技集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 835000 新疆維吾爾自治區(qū)伊犁哈薩克自治州霍爾果斯市工業(yè)園區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園(北京路以西、蘇州路以北)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用蝕刻加工設(shè)備，包括半導(dǎo)體蝕刻機(jī)本體，半導(dǎo)體蝕刻機(jī)本體的底部設(shè)置有輸送機(jī)構(gòu)，輸送機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)支撐架、輸送帶和若干個(gè)傳動(dòng)輥，其中兩個(gè)傳動(dòng)輥分別轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于兩個(gè)支撐架的內(nèi)端，其余的傳動(dòng)輥轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于半導(dǎo)體蝕刻機(jī)本體的內(nèi)端，輸送帶套裝于若干個(gè)傳動(dòng)輥的外壁；本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用蝕刻加工設(shè)備，通過(guò)在輸送帶上設(shè)置的定位機(jī)構(gòu)可以半導(dǎo)體片進(jìn)行定位，且根據(jù)半導(dǎo)體片的大小可以對(duì)定位機(jī)構(gòu)的位置進(jìn)行調(diào)整，以適應(yīng)不同規(guī)格的半導(dǎo)體片，有效的提高了適用范圍，且通過(guò)除味機(jī)構(gòu)可以將蝕刻時(shí)產(chǎn)生的氣體吸走，防止這些帶有腐蝕性的氣體污染工作環(huán)境。