一種直拉單晶用加熱器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520860066.8 申請日 -
公開（公告）號 CN205115667U 公開（公告）日 2016-03-30
申請公布號 CN205115667U 申請公布日 2016-03-30
分類號 C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 吳丹 申請（專利權(quán)）人 西安通鑫半導(dǎo)體輔料有限公司
代理機構(gòu) 西安弘理專利事務(wù)所 代理人 羅笛
地址 710300 陜西省西安市戶縣灃京工業(yè)園潭濱北路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開的一種直拉單晶用加熱器，包括加熱器主體，加熱器主體具有相對的第一端部和第二端部，加熱器主體具有多個自第一端部向第二端部延伸的第一狹槽以及多個自第二端部向第一端部延伸的第二狹槽，多個第一狹槽與多個第二狹槽交替設(shè)置，相鄰的兩個第一狹槽之間形成一個發(fā)熱單元，每個發(fā)熱單元均包括多個相連接的加熱段，至少一個加熱段具有開口。本實用新型的一種直拉單晶用加熱器在發(fā)熱單元的加熱段上具有開口結(jié)構(gòu)，可根據(jù)產(chǎn)品品質(zhì)需求進行相應(yīng)調(diào)整，能形成適應(yīng)高拉速、低雜質(zhì)含量、低缺陷等各種需求的、優(yōu)化的溫度梯度，從而最終獲得高品質(zhì)的單晶硅。