一種超細(xì)β碳化硅及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310393354.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103466624B 公開（公告）日 2015-11-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN103466624B 申請(qǐng)公布日 2015-11-18
分類號(hào) C01B31/36(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 李新家;賈明;馬歡;曹恒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安通鑫半導(dǎo)體輔料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 徐文權(quán)
地址 710300 陜西省西安市灃京工業(yè)園譚濱北路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種超細(xì)β碳化硅的制備方法，包括（1）混合樣品；（2）高溫反應(yīng)；（3）煅燒除炭；（4）酸堿洗除雜四個(gè)步驟，其工藝步驟簡單，操作方便，所制備的超細(xì)β碳化硅粒徑為3μm左右，成本低、無α相碳化硅、雜質(zhì)含量低、粒度分布均勻，β碳化硅含量在98%以上。制備出的超細(xì)β碳化硅可為電子、信息、精密加工技術(shù)、軍工、航空航天、高級(jí)耐火材料、特種陶瓷材料、高級(jí)磨削材料和增強(qiáng)材料等領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的原料。