一種用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021526806.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212713841U | 公開（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212713841U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-16 |
| 分類號(hào) | C30B15/04(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 鄭偉揚(yáng);王思鋒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 寧夏協(xié)鑫晶體科技發(fā)展有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 江蘇圣典律師事務(wù)所 | 代理人 | 徐芝強(qiáng);肖明芳 |
| 地址 | 755099寧夏回族自治區(qū)中衛(wèi)市中衛(wèi)工業(yè)園區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝，包括聚四氟乙烯材質(zhì)的漏斗，以及石英材質(zhì)的導(dǎo)流管；所述漏斗的底部設(shè)有內(nèi)螺紋，所述導(dǎo)流管的頂部設(shè)有外螺紋，漏斗與導(dǎo)流管通過內(nèi)外螺紋可拆卸的連接。導(dǎo)流管的底部設(shè)有石英材質(zhì)下口加強(qiáng)環(huán)；導(dǎo)流管靠近漏斗的端部設(shè)有聚四氟乙烯材質(zhì)的保護(hù)環(huán)，保護(hù)環(huán)下方還設(shè)有石英材質(zhì)的支撐臺(tái)。該摻雜工裝采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，其上部為聚四氟乙烯漏斗，下部為石英導(dǎo)流管，兩者采用螺紋連接可有效降低采購(gòu)成本，且易于拆卸、組裝及清洗。石英管損壞后僅更換下部石英管降低了使用成本。該工裝選用材料均為高純度材料可有效避免該工裝對(duì)于多晶硅原料的污染。?? |
