一種自旋式熱屏快速清理裝置和使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110307867.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113070298A 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN113070298A 申請公布日 2021-07-06
分類號 B08B9/032（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 鄭偉揚(yáng);王思鋒;周宇;李莎;焦岳衛(wèi) 申請（專利權(quán)）人 寧夏協(xié)鑫晶體科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇圣典律師事務(wù)所 代理人 肖明芳
地址 755099寧夏回族自治區(qū)中衛(wèi)市中衛(wèi)工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種自旋式熱屏快速清理裝置和使用方法，所述裝置包括掛鉤組件、第一腔體、第二腔體和第三腔體，掛鉤組件貫穿第一腔體的一端面，與第一腔體轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第一腔體的另一端面與第二腔體的一端面固定連接；第二腔體的另一端面與第三腔體的一端面固定連接；第二腔體包括氬氣腔體、排氣腔體和固定在氬氣腔體和排氣腔體間的隔板；氬氣腔體的側(cè)面固定連接有進(jìn)氣閥，排氣腔體與第三腔體連通；隔板上固定連接有熱敏開關(guān)控制閥，熱敏開關(guān)控制閥固定連接有回旋式排氣道；第三腔體內(nèi)固定連接有渦輪式導(dǎo)氣盤，第三腔體側(cè)面開設(shè)有兩個(gè)以上的排氣孔。使用該裝置能夠?qū)崞羶?nèi)壁的硅粉清理干凈，避免拉晶時(shí)硅粉掉落對于爐臺成晶的影響。