一種用于單晶生產(chǎn)的高拉速水冷屏

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021450379.3 申請日 -
公開（公告）號 CN212713835U 公開（公告）日 2021-03-16
申請公布號 CN212713835U 申請公布日 2021-03-16
分類號 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 鄭偉揚;王思鋒 申請（專利權(quán)）人 寧夏協(xié)鑫晶體科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇圣典律師事務(wù)所 代理人 徐芝強;肖明芳
地址 755099寧夏回族自治區(qū)中衛(wèi)市中衛(wèi)工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于單晶生產(chǎn)的高拉速水冷屏，包括中部上下貫穿的筒體、位于筒體筒壁中的冷卻水水道、以及連接于筒體頂部一側(cè)的進(jìn)水管管道和連接于筒體頂部另一側(cè)的出水管管道；所述進(jìn)水管管道、筒體筒壁中的冷卻水水道、以及出水管管道依次連通；所述筒體的筒壁包括外壁和內(nèi)壁，冷卻水水道設(shè)置于外壁和內(nèi)壁之間；所述內(nèi)壁為具有凹凸褶皺的折面。通過筒體內(nèi)壁折面設(shè)計可有效增大散熱面積，折面結(jié)構(gòu)增大了水冷屏腔體，進(jìn)一步增加該水冷屏對于晶棒的冷卻效果，實現(xiàn)等徑拉速的提高。內(nèi)壁折面高度及角度的特殊設(shè)計可防止水冷屏內(nèi)壁遮擋CCD及觀察窗測徑，同時折面向內(nèi)延伸更加靠近晶棒增加冷卻效果。??