提高鍵合強度的退火方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611227760.1 申請日 -
公開（公告）號 CN106601615B 公開（公告）日 2020-05-15
申請公布號 CN106601615B 申請公布日 2020-05-15
分類號 H01L21/324 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 魏星;常永偉;陳猛;陳國興;費璐;王曦 申請（專利權）人 上海新傲科技股份有限公司
代理機構 上海盈盛知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 上海新傲科技股份有限公司
地址 201821 上海市嘉定區(qū)普惠路200號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種提高鍵合強度的退火方法，所述方法包括如下步驟：提供一襯底，所述襯底具有一鍵合界面；第一退火步驟，所述第一退火步驟在含氧氣氛中實施，本步驟在襯底表面形成氧化保護層；第二退火步驟，在第一退火步驟后實施，第二退火步驟溫度高于第一退火步驟且在無氮環(huán)境中實施。