提高鍵合強(qiáng)度的退火方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201611227760.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106601615B 公開(kāi)（公告）日 2020-05-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN106601615B 申請(qǐng)公布日 2020-05-15
分類號(hào) H01L21/324 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 魏星;常永偉;陳猛;陳國(guó)興;費(fèi)璐;王曦 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海新傲科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海新傲科技股份有限公司
地址 201821 上海市嘉定區(qū)普惠路200號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種提高鍵合強(qiáng)度的退火方法，所述方法包括如下步驟：提供一襯底，所述襯底具有一鍵合界面；第一退火步驟，所述第一退火步驟在含氧氣氛中實(shí)施，本步驟在襯底表面形成氧化保護(hù)層；第二退火步驟，在第一退火步驟后實(shí)施，第二退火步驟溫度高于第一退火步驟且在無(wú)氮環(huán)境中實(shí)施。