水平載片裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920605248.9 申請日 -
公開（公告）號 CN210092044U 公開（公告）日 2020-02-18
申請公布號 CN210092044U 申請公布日 2020-02-18
分類號 H01L21/673 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊桂凱;莊俞佳;李翔宇;徐慧軍 申請（專利權(quán)）人 上海新傲科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海新傲科技股份有限公司
地址 201821 上海市嘉定區(qū)普惠路200號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 該實(shí)用新型涉及一種水平載片裝置，包括基座，所述基座設(shè)置有卡槽，所述卡槽用于放置待裝載的晶圓，且當(dāng)所述水平載片裝置水平放置時(shí)，所述卡槽的底面與水平面之間具有一預(yù)設(shè)夾角。上述水平載片裝置在基座上設(shè)置了傾斜的卡槽，在使用傾斜的卡槽來裝載晶圓時(shí)，避免了由于晶圓晃動(dòng)而產(chǎn)生的碰撞、導(dǎo)致的晶圓邊緣損傷、粘片以及雙片鍵合片的開縫問題。且由于晶圓在卡槽中的傾斜設(shè)置，片間間距相同，不同位置爐內(nèi)的氣流和溫場分布較均勻，在對晶圓進(jìn)行熱處理時(shí)，熱處理的效果更好。