自動(dòng)化處理設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920799839.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN210575849U 公開(kāi)(公告)日 2020-05-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN210575849U 申請(qǐng)公布日 2020-05-19
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔣杰 申請(qǐng)(專利權(quán))人 上海新傲科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 上海新傲科技股份有限公司
地址 201821 上海市嘉定區(qū)普惠路200號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 該實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)化處理設(shè)備,包括:晶圓放置位,用于放置晶圓;第一導(dǎo)軌,晶圓放置位安裝至第一導(dǎo)軌,并能夠沿第一導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向運(yùn)動(dòng);藥液槽,設(shè)置于第一導(dǎo)軌的第一端的下方,用于放置藥液,且當(dāng)晶圓放置位運(yùn)動(dòng)至第一端時(shí),晶圓放置位浸入藥液槽內(nèi)放置的藥液中;藥液泵,連通至藥液槽,用于泵出藥液槽內(nèi)放置的藥液;藥液箱,放置有藥液,連通至藥液槽,用于給藥液槽提供處理晶圓的藥液。本實(shí)用新型中的自動(dòng)化處理設(shè)備可以控制晶圓的浸泡時(shí)間,且具有連通至藥液槽的藥液泵,可以將藥液槽內(nèi)的藥液抽出,以實(shí)現(xiàn)替換,還具有連通至藥液槽的藥液箱,可以通過(guò)藥液箱往藥液槽內(nèi)填充藥液,簡(jiǎn)單方便,在替換藥液時(shí)無(wú)需人工,安全系數(shù)高。