自動化處理設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920799839.4 申請日 -
公開（公告）號 CN210575849U 公開（公告）日 2020-05-19
申請公布號 CN210575849U 申請公布日 2020-05-19
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔣杰 申請（專利權(quán)）人 上海新傲科技股份有限公司
代理機構(gòu) 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 上海新傲科技股份有限公司
地址 201821 上海市嘉定區(qū)普惠路200號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 該實用新型涉及一種自動化處理設(shè)備，包括：晶圓放置位，用于放置晶圓；第一導(dǎo)軌，晶圓放置位安裝至第一導(dǎo)軌，并能夠沿第一導(dǎo)軌的長度方向運動；藥液槽，設(shè)置于第一導(dǎo)軌的第一端的下方，用于放置藥液，且當晶圓放置位運動至第一端時，晶圓放置位浸入藥液槽內(nèi)放置的藥液中；藥液泵，連通至藥液槽，用于泵出藥液槽內(nèi)放置的藥液；藥液箱，放置有藥液，連通至藥液槽，用于給藥液槽提供處理晶圓的藥液。本實用新型中的自動化處理設(shè)備可以控制晶圓的浸泡時間，且具有連通至藥液槽的藥液泵，可以將藥液槽內(nèi)的藥液抽出，以實現(xiàn)替換，還具有連通至藥液槽的藥液箱，可以通過藥液箱往藥液槽內(nèi)填充藥液，簡單方便，在替換藥液時無需人工，安全系數(shù)高。