一種金屬掩膜版用高精度蝕刻機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011637974.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112853355A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112853355A 申請公布日 2021-05-28
分類號 C23F1/08(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 錢超;楊柯;牛恩眾;余強根 申請（專利權）人 常州高光半導體材料有限公司
代理機構 濟南鼎信專利商標代理事務所（普通合伙） 代理人 梁國海
地址 213311江蘇省常州市溧陽市埭頭鎮(zhèn)渡頭街8-2號13幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種金屬掩膜版用高精度蝕刻機，包括箱體，所述箱體的內(nèi)部活動安裝有托板，箱體的背面固定安裝有電動伸縮桿，電動伸縮桿的正面固定安裝有第一連接筒，第一連接筒的底部固定安裝有噴嘴，第一連接筒的頂部連通有第一伸縮軟管，第一伸縮軟管的頂部連通有噴淋泵，箱體的背面固定安裝有氣缸，氣缸的正面固定安裝有第二連接筒，第二連接筒的底部固定安裝有噴頭，第二連接筒的頂部連通有第二伸縮軟管。通過設置的電動伸縮桿和氣缸，可以讓噴嘴和噴頭進行移動，不必再設置大量的噴嘴來對金屬掩膜版進行噴射化學藥液蝕刻，不僅節(jié)省了大量的化學藥液，還可以及時的對金屬掩膜版進行噴水清理，提高了蝕刻機的工作效率，還降低了生產(chǎn)成本。??