金屬掩膜版切割防護(hù)設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110255638.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113024098A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113024098A 申請公布日 2021-06-25
分類號 C03B33/03;B08B17/02 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 錢超;楊柯;牛恩眾;余強(qiáng)根 申請（專利權(quán)）人 常州高光半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董成
地址 213311 江蘇省常州市溧陽市埭頭鎮(zhèn)渡頭街8-2號13幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了金屬掩膜版切割防護(hù)設(shè)備，涉及掩膜版切割防護(hù)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為金屬掩膜版切割防護(hù)設(shè)備，包括第一伺服電機(jī)，所述第一伺服電機(jī)的輸出軸上固定套接有驅(qū)動(dòng)盤，所述驅(qū)動(dòng)盤正面的邊緣處固定連接有驅(qū)動(dòng)柱，所述驅(qū)動(dòng)柱的外表面活動(dòng)套接有驅(qū)動(dòng)套桿的一端。該金屬掩膜版切割防護(hù)設(shè)備，通過卡爪的上表面為平整的矩形，所述卡爪上表面向內(nèi)的一側(cè)開設(shè)有固定槽口與第二液壓伸縮桿、承載臺(tái)、升降套管、棘輪之間相互配合能夠使得被撥動(dòng)桿運(yùn)輸過來的掩膜版被承載臺(tái)運(yùn)輸?shù)娇ㄗι?，能夠?qū)崿F(xiàn)切割掩膜版在防護(hù)機(jī)箱的內(nèi)腔中和取拿掩膜版在防護(hù)機(jī)箱的外側(cè)，可以有效的解決切割掩膜版時(shí)會(huì)迸濺碎料而存在隱患。