一種精密金屬掩膜版張網(wǎng)拉伸精確度檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110677014.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113295093A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN113295093A 申請(qǐng)公布日 2021-08-24
分類號(hào) G01B11/00;C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 錢超;楊柯;牛恩眾;余強(qiáng)根 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州高光半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 代理人 徐冬濤
地址 213311 江蘇省常州市溧陽(yáng)市埭頭鎮(zhèn)渡頭街8-2號(hào)13幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種精密金屬掩膜版張網(wǎng)拉伸精確度檢測(cè)方法，本發(fā)明方法在拉伸前的掩膜版上設(shè)置激光標(biāo)記點(diǎn)，通過(guò)實(shí)際點(diǎn)與理論點(diǎn)之間的距離來(lái)檢測(cè)是否合格，可以在掩膜版用于蒸鍍之前對(duì)掩膜版張網(wǎng)精確度進(jìn)行檢測(cè)，防止掩膜版投入使用后才發(fā)現(xiàn)張網(wǎng)不合格導(dǎo)致的蒸鍍材料以及設(shè)備使用的能源浪費(fèi)，而且本發(fā)明方法操作簡(jiǎn)單，檢測(cè)效率高。