掩膜版除塵除油設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011641183.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112871831A | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112871831A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號(hào) | B08B3/02（2006.01）I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 錢超;楊柯;余強(qiáng)根;牛恩眾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 常州高光半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 濟(jì)南鼎信專利商標(biāo)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 梁國(guó)海 |
| 地址 | 213311江蘇省常州市溧陽市埭頭鎮(zhèn)渡頭街8-2號(hào)13幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了掩膜版除塵除油設(shè)備，包括清洗箱，所述清洗箱的頂部外壁固定連接有注水管，所述清洗箱的頂部外壁固定連接有注液管，所述注水管的頂部外壁開設(shè)有注水孔，所述注液管的頂部外壁開設(shè)有注液孔，所述注水管、注液管的外壁之間固定連接有導(dǎo)管，所述導(dǎo)管的數(shù)量為三個(gè)，所述注水管、注液管的底部外壁均固定連接有清洗裝置。通過設(shè)置的注水管與注液管，讓掩膜板在進(jìn)行清洗時(shí)，能夠持續(xù)不斷的對(duì)掩膜板進(jìn)行清洗，同時(shí)設(shè)置的導(dǎo)管連通注水管與注液管，讓注入的水流與清洗液進(jìn)行混合，再經(jīng)由清洗裝置處設(shè)置的噴頭噴射出去，同時(shí)噴孔設(shè)置為三孔，讓噴射出去的水流能夠形成散射，使得清洗范圍變廣，清洗的效果更好、效率更高。?? |
