薄膜電池制備裝置及方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910022823.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN109609910B | 公開（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申請公布號 | CN109609910B | 申請公布日 | 2021-04-13 |
| 分類號 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 李致朋;區(qū)定容 | 申請（專利權(quán)）人 | 深圳市致遠(yuǎn)動力科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李艷麗 |
| 地址 | 100089 北京市海淀區(qū)學(xué)院路35號世寧大廈14層1409 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種薄膜電池制備裝置及方法，該裝置包括薄膜沉積真空腔，用于在電池的襯底上沉積薄膜，薄膜沉積真空腔的數(shù)量至少為兩個；真空連接腔，連接相鄰兩個薄膜沉積真空腔；真空閥，設(shè)于薄膜沉積真空腔和真空連接腔之間，用于控制薄膜沉積真空腔和真空連接腔的連通和關(guān)閉；傳送機(jī)構(gòu)，設(shè)于真空連接腔內(nèi)，用于將電池從其中一個薄膜沉積真空腔內(nèi)轉(zhuǎn)移至相鄰的薄膜沉積真空腔。本發(fā)明提供的薄膜電池制備裝置，多個薄膜沉積真空腔通過真空閥及真空連接腔，并可通過傳送機(jī)構(gòu)將沉積后的襯底移送到相鄰的薄膜沉積真空腔中，進(jìn)行其他沉積，如此重復(fù)即可在不換靶材的情況下，保持電池生產(chǎn)的過程連續(xù)不斷地進(jìn)行，縮短電池的生產(chǎn)周期。?? |
