具有三維微納結(jié)構(gòu)的全固態(tài)薄膜燃料電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910066263.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109755615B 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN109755615B 申請公布日 2021-05-28
分類號 H01M8/1213(2016.01)I;H01M8/122(2016.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李致朋;區(qū)定容 申請（專利權(quán)）人 深圳市致遠動力科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃志云
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)華強北街道華航社區(qū)華富路1006號航都大廈1401C
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種三維結(jié)構(gòu)的全固態(tài)薄膜燃料電池的制備方法，包括以下步驟：在第一襯底的至少一表面沉積光刻膠層，對所述光刻膠層進行烘烤處理，制備得到第二襯底；在所述第二襯底背離所述第一襯底的表面上方放置掩膜板，對所述第二襯底進行光刻蝕處理，使所述第二襯底背離所述第一襯底的表面呈微納結(jié)構(gòu)；在所述第二襯底的微納結(jié)構(gòu)表面制備陽極及其集流體層；在所述陽極及其集流體層背離所述第二襯底的表面制備電解質(zhì)層；在所述電解質(zhì)層背離所述陽極及其集流體層的表面制備陰極及其集流體層；將得到的樣品置于能夠溶解光刻膠的有機溶劑中，清洗處理去除光刻膠材料，得到整體呈微納結(jié)構(gòu)的三維全固態(tài)薄膜燃料電池。??