薄膜體波諧振器及提高其品質(zhì)因數(shù)的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310428192.1 申請日 -
公開（公告）號 CN103607178B 公開（公告）日 2016-10-05
申請公布號 CN103607178B 申請公布日 2016-10-05
分類號 H03H9/17;H03H3/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 張浩;張孟倫;龐慰;張代化 申請（專利權(quán)）人 天津濱海新區(qū)弘信博格融資租賃有限公司
代理機構(gòu) 北京德恒律治知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 章社杲;孫征
地址 300462 天津市濱海新區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)新業(yè)五街27號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種薄膜體波諧振器及提高其品質(zhì)因數(shù)的方法，其中，該薄膜體波諧振器包括：第一電極；壓電層，位于第一電極上方；第二電極，位于壓電層上方；其中，第二電極與第一電極之間具有至少一間隙，間隙的至少部分覆蓋薄膜體波諧振器的有效區(qū)域，其中，有效區(qū)域為第一電極、第二電極和壓電層在厚度方向上彼此重疊的區(qū)域。本發(fā)明通過在薄膜體波諧振器的第二電極與第一電極之間具有至少一間隙，減小橫向模式的聲波泄露和電極材料造成的能量損耗，提高薄膜體波諧振器的Q值，使Q值大于2000。