薄膜體波諧振器及提高其品質(zhì)因數(shù)的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310428192.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103607178A 公開(kāi)（公告）日 2014-02-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN103607178A 申請(qǐng)公布日 2014-02-26
分類號(hào) H03H9/17;H03H3/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 張浩;張孟倫;龐慰;張代化 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津?yàn)I海新區(qū)弘信博格融資租賃有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京德恒律治知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 章社杲;孫征
地址 300462 天津市濱海新區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)新業(yè)五街27號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種薄膜體波諧振器及提高其品質(zhì)因數(shù)的方法，其中，該薄膜體波諧振器包括：第一電極；壓電層，位于第一電極上方；第二電極，位于壓電層上方；其中，第二電極與第一電極之間具有至少一間隙，間隙的至少部分覆蓋薄膜體波諧振器的有效區(qū)域，其中，有效區(qū)域?yàn)榈谝浑姌O、第二電極和壓電層在厚度方向上彼此重疊的區(qū)域。本發(fā)明通過(guò)在薄膜體波諧振器的第二電極與第一電極之間具有至少一間隙，減小橫向模式的聲波泄露和電極材料造成的能量損耗，提高薄膜體波諧振器的Q值，使Q值大于2000。