濾波器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310514230.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103701425B 公開（公告）日 2017-05-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN103701425B 申請(qǐng)公布日 2017-05-03
分類號(hào) H03H7/01;H03H3/007 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 張浩;張孟倫;龐慰;張代化 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津?yàn)I海新區(qū)弘信博格融資租賃有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京德恒律治知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 章社杲;孫征
地址 300462 天津市濱海新區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)新業(yè)五街27號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種濾波器及其制造方法，其中，該濾波器包括串聯(lián)諧振器和并聯(lián)諧振器，至少一個(gè)串聯(lián)諧振器包括質(zhì)量負(fù)載，并且至少一個(gè)并聯(lián)諧振器包括質(zhì)量負(fù)載；其中，串聯(lián)諧振器的質(zhì)量負(fù)載的材料不同于并聯(lián)諧振器的質(zhì)量負(fù)載的材料。本發(fā)明通過使串聯(lián)諧振器的質(zhì)量負(fù)載的材料不同于并聯(lián)諧振器的質(zhì)量負(fù)載的材料，能夠使M值基本不受覆蓋層厚度影響，從而控制整個(gè)晶圓上的M值的變化幅度，進(jìn)而提高濾波器的生產(chǎn)良率。