CVD制石墨烯裝置及石墨烯薄膜的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110130327.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112938945A 公開（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112938945A 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類號(hào) C01B32/186;C30B29/02;C30B30/00 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 張寶勛;李炯利;王旭東;徐梓釗 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京石墨烯技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華進(jìn)京聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王勤思
地址 100094 北京市海淀區(qū)永豐基地豐秀中路1號(hào)2幢1層01
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種CVD制石墨烯裝置及石墨烯薄膜的制備方法。本發(fā)明提供了一種CVD制石墨烯裝置，包括支架底座、石墨烯生長(zhǎng)基底和頂蓋。支架底座為環(huán)狀封閉結(jié)構(gòu)，頂部設(shè)有貫穿孔洞，貫穿孔洞一內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有固定柱。石墨烯生長(zhǎng)基底的固定端為彎折的、且設(shè)有與固定柱相適配的開孔。頂蓋內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有固定板，固定板上設(shè)有與固定柱相適配的開孔。使用該裝置時(shí)，石墨烯生長(zhǎng)基底插入貫穿孔洞，通過固定端的彎折結(jié)構(gòu)將其開孔套設(shè)于與被貫穿孔洞相鄰孔洞的固定柱上，頂蓋的固定板插入貫穿孔洞并通過開孔套設(shè)于固定柱上，將固定端夾緊。使用該裝置制備的石墨烯薄膜無(wú)褶皺，且提高了生長(zhǎng)石墨烯裝置的空間利用率。還提供了一種用該裝置制備石墨烯薄膜的方法。