一種非破壞性的半導(dǎo)體材料SEM監(jiān)控方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911293296.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111142329A 公開(kāi)（公告）日 2020-05-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN111142329A 申請(qǐng)公布日 2020-05-12
分類號(hào) G03F7/00;H01L21/66 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 席慶男;王曉慧;許南發(fā);李志 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 元旭半導(dǎo)體科技（天津）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南誠(chéng)智商標(biāo)專利事務(wù)所有限公司 代理人 楊筠
地址 230000 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)天門路以西,錦繡大道以南天門湖工業(yè)園1幢廠房2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料制備技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種非破壞性的半導(dǎo)體材料SEM監(jiān)控方法，該方法包括如下步驟：提供一樣品，在樣品上鋪設(shè)軟膜；對(duì)軟膜加熱，使其固化，得到轉(zhuǎn)印模并將其從樣品上取下；提供一硬質(zhì)底板，在硬質(zhì)底板上涂覆紫外壓印膠，并利用物理壓印方式將轉(zhuǎn)印模上的圖形壓印到紫外壓印膠層上；固化紫外壓印膠層，取下轉(zhuǎn)印模，得到監(jiān)控樣品；將監(jiān)控樣品進(jìn)行破片檢測(cè)。本發(fā)明通過(guò)轉(zhuǎn)印方式，能夠?qū)y(cè)試樣品的形貌轉(zhuǎn)到涂覆有紫外壓印膠的硬質(zhì)底板上，轉(zhuǎn)印精度高，從而在不破壞樣品的情況下得到樣品的形貌特征，相較傳統(tǒng)的直接對(duì)樣品破片進(jìn)行檢測(cè)的監(jiān)控方式，該方法既保證了不破壞樣品，又使得監(jiān)控成本大大降低，且圖形尺寸可以做到納米級(jí)別。